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DC / RF POWER


產品

 各式電漿電源供應器、射頻電漿電源產生器、直流電漿電源產生器、功率匹配器、製程氣體產生器、微波電漿產生器等

  • DC/RF POWER

AE:Advance Energy Industries

ENI:MKS Instruments,Inc.

Huttinger:HUETTINGER Electronic

 

  • RF Generator:
RFG seriesRFX seriesRFPP RF seriesRFPP LF seriesAspect seriesCesar series HFV seriesRPS

 

  •  DCPower Supply :

MDX seriesMDX-L seriesSparc seriesStarburstPinnacle seriesPinnacle II seriesPinnacle Plus seriesE-Chuck power 

 

  • Matching Network :
ATX series TunerAZX seriesTunerVario match

特點

電源供應器

應用

  • 真空鍍膜
  • 電漿清洗機
  • Plasma
  • Sputter

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